유럽을 방문중인 이재용 삼성전자 부회장이 네덜란드 총리와 반도체 장비업체 ASML 경영진을 연이어 만났다.

반도체 초미세 공정에 필수적인 극자외선(EUV) 노광장비를 확보하기 위한 행보로 풀이된다.

삼성전자는 이 부회장이 14일(현지시간) 네덜란드 에인트호번에 위치한 ASML 본사를 방문해 피터 베닝크 CEO 등 경영진을 만나 양사 간 협력 강화 방안을 논의했다고 15일 밝혔다.

이 부회장이 네덜란드 ASML 본사를 찾은 것은 지난 2020년 10월 이후 20개월 만이다. 방문에는 삼성전자 반도체 사업을 총괄하는 경계현 DS부문장이 함께했다.

삼성전자는 "이 부회장과 ASML 경영진이 극자외선(EUV) 노광 장비의 원활한 수급 방안 등에 대해 폭넓게 협의했다"고 설명했다.

EUV 장비는 반도체 실리콘 웨이퍼에 7나노미터(nm) 이하 미세 회로를 그릴 수 있는 필수 장비다. ASML은 세계에서 유일하게 EUV 노광 장비를 생산하고 있다. 이 때문에 최첨단 반도체를 생산하는 기업은 반드시 ASML로부터 EUV 장비를 공급받아야 한다.

이런 가운데 ASML이 생산하는 EUV 장비는 1년에 40여대 수준이다. 구매를 원하는 기업은 많지만 공급이 매우 부족한 상황이다. 이 때문에 삼성전자를 비롯해 대만 TSMC, 미국 인텔 등은 앞다퉈 ASML과 협력을 강화하고 있다. 말이 협력이지 사실상 EUV 장비 쟁탈전을 벌이고 있다.

이 부회장은 ASML 방문에 앞서 마르크 뤼터 네덜란드 총리도 만났다. 이 자리에서도 이 부회장은 뤼터 총리에게 삼성이 안정적으로 EUV 장비를 공급받을 수 있도록 도와줄 것을 요청한 것으로 알려졌다. 한편 이 부회장은 15일(현지시간)에는 벨기에 루벤에 위치한 유럽 최대 규모 종합반도체 연구소 아이멕(imec)을 방문했다.

이 부회장은 루크 반 덴 호브 imec CEO와 만나 반도체 분야 최신 기술과 연구개발 방향 등을 논의했다.

imec는 1984년 벨기에와 프랑스 네덜란드 3국이 공동 설립한 비영리 종합 반도체 연구소다. 현재 95개국에서 모인 4500여명의 연구인력이 국가를 초월한 다국적연구를 수행하며 3~10년 뒤 상용화될 미래 기술에 집중하고 있다.

특히 반도체를 중심으로 인공지능, 생명과학·바이오, 미래 에너지까지 다양한 분야의 선행연구를 진행해 삼성의 미래 전략사업 분야와도 궤를 같이하고 있다.

지난달 삼성은 반도체 분야를 비롯해 바이오, 인공지능 및 차세대 통신 등 미래 신사업을 중심으로 향후 5년간 450조원을 투자하겠다고 발표했다.