세종대학교 공동기기원과 대학일자리플러스센터, 금속유기화합물 첨단소재응용 핵심연구지원센터는 지난 1월 12일부터 14일까지 대양AI센터에서 반도체 공정 기술 교육을 실시했다.

24일 세종대에 따르면 이번 교육은 금속유기화합물 첨단소재응용 핵심연구지원센터가 주최하고 공동기기원과 대학일자리플러스센터가 공동 운영했다. 반도체 제조 전 공정의 흐름과 각 공정의 원리·목적을 이해하는 데 초점을 맞췄다.

교육에는 세종대 재학생과 졸업생 등 76명이 참여했으며, 강의는 나노신소재공학과 이원준 교수가 맡았다.

교육 첫째 날에는 웨이퍼와 클린룸, 세정 공정과 산화·어닐링, 포토리소그래피 공정에 대한 이론 강의가 진행됐다. 둘째 날에는 식각, 이온 주입, 화학기상증착(CVD)과 원자층증착(ALD) 공정을 다뤘고, 셋째 날에는 금속 공정과 물리기상증착(PVD), 3D 패키징 공정 교육과 질의응답, 수료식이 이어졌다.

한편 금속유기화합물 첨단소재응용 핵심연구지원센터는 교육부 기초과학연구역량강화사업 재원으로 한국기초과학지원연구원 국가연구시설장비진흥센터의 지원을 받아 연구장비 교육과 공동 활용 지원을 수행하고 있다.