부산대, 원자까지 들여다보는 초정밀 분석장비 구축

2026-03-12 09:50:34 게재

54억 투입 특수 장비들 도입

반도체·배터리 연구 기반 강화

부산대학교가 원자 단위까지 물질을 분석할 수 있는 초정밀 연구 장비를 새로 구축했다.

수차보정 투과전자현미경(Cs-TEM)
부산대학교가 원자 단위까지 물질을 분석할 수 있는 초정밀 연구 장비를 새로 구축했다. 사진 부산대 제공

부산대는 수차보정 투과전자현미경(Cs-TEM)과 고분해능 집속이온빔(HR-FIB) 시스템을 도입해 본격 운영에 들어갔다고 12일 밝혔다. 장비 구축에는 교육부 지원과 대학 예산 등 총 54억7500만 원이 투입됐다.

Cs-TEM은 물질의 구조를 원자 수준까지 확대해 볼 수 있는 전자현미경으로, 나노소재나 반도체, 배터리 소재의 미세 구조를 정밀하게 분석할 수 있다.

HR-FIB는 머리카락보다 훨씬 작은 시편을 정밀하게 가공하는 장비로 전자현미경 분석에 필요한 시료를 만드는 데 쓰인다. 두 장비를 함께 사용하면 시편 제작부터 분석까지 한 번에 진행할 수 있는 것이 특징이다.

부산대는 장비 성능을 높이기 위해 전자파와 진동을 줄인 전용 분석실도 마련했다. 정전기 방지 바닥재를 설치하고 온도와 습도를 일정하게 유지해 안정적인 연구 환경을 갖췄다.

부산대는 이번 장비 도입을 계기로 반도체와 배터리, 첨단소재 연구를 강화하고 대학·연구소·기업이 함께 활용하는 공동 연구 거점으로 발전시킬 계획이다.

곽재우 기자 dolboc@naeil.com
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