경북도가 미국·일본 의존도가 높은 반도체 장비 핵심부품 자립화에 본격 나섰다. 구미 반도체 특화단지에 테스트베드를 구축해 수도권 생산거점과 연계한 반도체 선순환 생태계 조성과 초미세 공정 대응 기반 확보에 나선 모습이다.

경북도는 산업통상자원부 주관 ‘반도체 챔버용 소재·부품 제조 및 검증 테스트베드 구축’ 공모사업에 최종 선정돼 국비 150억원을 확보했다고 18일 밝혔다.

이번 사업은 2030년까지 총사업비 400억원을 투입해 구미국가1산업단지 방림부지에 반도체 챔버용 소재·부품 테스트베드를 조성하는 것이 핵심이다.

반도체 챔버는 반도체 제조장비 내부에서 웨이퍼 보호와 플라즈마 제어, 장비 손상 방지 역할을 수행하는 핵심 공정 공간이다. 정전척(ESC), 포커스 링, 라이너 등 주요 소모성 부품은 초미세 공정 안정성과 수율을 좌우하는 핵심 부품으로 꼽힌다.

특히 2nm급 이하 초미세 공정이 확대되면서 극저온·수소 플라즈마 환경을 견딜 수 있는 고성능 챔버 부품 수요가 빠르게 증가하고 있다. 하지만 현재 관련 핵심 부품은 미국·일본 등 해외 의존도가 90%를 웃돌아 공급망 리스크와 기술 자립 문제가 지속적으로 제기돼 왔다.

경북도는 이번 테스트베드 조성을 통해 지역 중소·중견기업이 고가의 준양산급 장비를 공동 활용할 수 있도록 지원한다는 계획이다. 시제품 제작과 성능 검증, 신뢰성 평가까지 전주기 지원체계를 마련해 개발 기간은 기존 5년 이상에서 3년 이내로 단축하고 개발 비용도 50% 이상 절감한다는 목표다.

사업에는 한국세라믹기술원과 한국산업기술시험원, 구미전자정보기술원, 한국반도체산업협회 등이 참여한다. 한국세라믹기술원은 클린룸을 포함한 기술지원센터와 제조·분석 장비 36종을 구축하고, 한국산업기술시험원은 신뢰성 검증 장비와 공인 시험·검증 시스템을 운영한다. 구미전자정보기술원은 장비 예약과 공동 연구개발(R&D) 연계 등 기업 지원 체계를 맡는다.

경북도는 이번 사업이 구미 반도체 특화단지와 수도권 생산거점을 연결하는 ‘K-반도체 밸류체인’ 완성의 핵심 기반이 될 것으로 기대하고 있다. 지역 소재·부품 기술과 수도권 칩 양산 생태계를 연계해 반도체 공급망 자립도를 높이겠다는 구상이다.

양금희 경북도 경제부지사는 “이번 국비 확보는 경북이 대한민국 반도체 소재·부품 산업의 핵심 거점임을 보여주는 성과”라며 “구미 반도체 특화단지를 중심으로 초격차 기술 경쟁력을 확보해 글로벌 반도체 공급망을 선도해 나가겠다”고 말했다.