ASML 화성캠퍼스가 12일 준공식을 갖고 본격적인 가동에 들어갔다.

산업통상부는 이날 경기도 화성시에서 열린 ‘ASML 화성캠퍼스’ 준공식에 강감찬 무역투자실장이 참석했다고 밝혔다.

ASML은 네덜란드를 대표하는 글로벌 반도체장비 기업으로, 반도체 초미세공정 구현에 필수적인 극자외선(EUV) 노광장비를 독점 생산해 삼성전자 SK하이닉스 TSMC 등에 공급한다.

노광장비는 반도체 웨이퍼에 회로 패턴을 그리는 장비로 광원의 파장이 짧을수록 공정 미세화가 가능하다. ASML사 장비는 고부가 가치 반도체 생산의 필수 수단으로 꼽힌다.

이번에 준공된 ASML의 화성캠퍼스는 심자외선(DUV)·극자외선(EUV) 노광장비 등 첨단장비 부품의 재제조센터와 첨단기술 전수를 위한 트레이닝 센터 등을 통합한 ASML의 아시아 핵심 거점 역할을 한다. 1만6000㎡ 규모로 2021~2025년간 총 2400억원을 투자했다.

ASML은 화성캠퍼스를 통해 삼성전자 SK하이닉스 등 국내 반도체 기업과의 공정 협력 및 기술 교류를 강화할 계획이다.

특히 국내 소재부품장비 기업과의 연계 생태계를 구축함으로써 한국 반도체 산업과의 상생형 협력 모델을 본격화할 것으로 보인다.

강감찬 실장은 “한국 반도체 산업의 발전에는 지자체와 중앙정부, 국가 간의 긴밀한 협력이 중요하며, 이번 준공은 협력의 좋은 사례”라며 “앞으로도 한국과 네덜란드 양국간 반도체 기술 협력과 투자가 더욱 긴밀하게 이어지기를 기대한다”고 말했다.

이재호 기자 jhlee@naeil.com